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https://hdl.handle.net/10216/60136| Author(s): | Lopes, Sílvia Alexandra Guerner |
| Title: | Processo plasma cleaning |
| Issue Date: | 2008 |
| Date: | 2008 |
| Description: | Estágio realizado na Qimonda Portugal, S.A. e orientado pela Doutora Isabel Barros Tese de mestrado integrado. Engenharia Metalúrgica e de Materiais. Faculdade de Engenharia. Universidade do Porto. 2008 |
| Subject: | Limpeza de superfícies Semicondutores Plasma Optimização de processos |
| Other Identifiers: | oai:digitool.fe.up.pt:47957 |
| DOI: | 10.34626/vj90-7817 |
| URI: | http://hdl.handle.net/10216/60136 |
| Related Information: | FEUP SDI RiFEUP |
| Document Type: | Dissertação |
| Rights: | openAccess |
| Appears in Collections: | FEUP - Dissertação |
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