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dc.contributorFerreira, Luís Filipe Malheiros de Freitaspt_PT
dc.contributorUniversidade do Porto. Faculdade de Engenhariapt_PT
dc.creatorLopes, Sílvia Alexandra Guernerpt_PT
dc.date2008pt_PT
dc.date.accessioned2013-05-24T02:23:04Z-
dc.date.available2013-05-24T02:23:04Z-
dc.date.issued2008-
dc.identifieroai:digitool.fe.up.pt:47957pt_PT
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10216/60136-
dc.descriptionEstágio realizado na Qimonda Portugal, S.A. e orientado pela Doutora Isabel Barrospt_PT
dc.descriptionTese de mestrado integrado. Engenharia Metalúrgica e de Materiais. Faculdade de Engenharia. Universidade do Porto. 2008pt_PT
dc.formatXII, 70 p., 30 cmpt_PT
dc.format.mimetypeapplication/pdfpt_PT
dc.format.mimetypeapplication/pdfpt_PT
dc.languageporpt_PT
dc.relationFEUPpt_PT
dc.relationSDIpt_PT
dc.relationRiFEUPpt_PT
dc.rightsopenAccesspt_PT
dc.subjectLimpeza de superfíciespt_PT
dc.subjectSemicondutorespt_PT
dc.subjectPlasmapt_PT
dc.subjectOptimização de processospt_PT
dc.titleProcesso plasma cleaningpt_PT
dc.typeDissertaçãopt_PT
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