1. Repositório Aberto da Universidade do Porto
  2. FEUP - Faculdade de Engenharia
  3. FEUP - Dissertação
Please use this identifier to cite or link to this item: https://hdl.handle.net/10216/12832
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dc.creatorOliveira, Mário Joaquim Machadopt_PT
dc.date2003pt_PT
dc.date.accessioned2013-05-24T04:46:32Z-
dc.date.available2013-05-24T04:46:32Z-
dc.date.issued2003-
dc.identifieroai:digitool.fe.up.pt:5779pt_PT
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10216/12832-
dc.descriptionDissertação apresentada para obtenção do grau de Mestre, na Faculdade de Engenharia da Universidade do Porto, sob a orientação do Professor Doutor Luís Andrade Ferreirapt_PT
dc.formatXIV, 119 f., 30 cmpt_PT
dc.format.mimetypeapplication/pdfpt_PT
dc.format.mimetypeapplication/pdfpt_PT
dc.languageporpt_PT
dc.relationFEUPpt_PT
dc.relationSDIpt_PT
dc.relationRiFEUPpt_PT
dc.rightsopenAccesspt_PT
dc.subjectAnálise RAMSpt_PT
dc.subjectSemicondutorespt_PT
dc.subjectUniversidade do Porto. Faculdade de Engenharia da Universidade do Portopt_PT
dc.titleAnálise RAMS de uma família de equipamentos de produção de semicondutorespt_PT
dc.typeDissertaçãopt_PT
dc.contributor.uportoFaculdade de Engenharia-
dc.identifier.doi10.34626/k55d-xq89-
thesis.degree.grantorFaculdade de Engenharia-
thesis.degree.grantorUniversidade do Porto-
thesis.degree.level1-
dc.identifier.isnihttps://isni.org/isni/000000040392388X-
dc.identifier.rorhttps://ror.org/043pwc612-
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